水過濾及深度處理系統
電子用純水深度處理
在水處理領域，電子用水是所有應用領域要求的場合，根據不同的產品等級，水處理的要求也不一樣，其處理流程也不盡相同。
在一般電子工業，比如PCB行業，純水主要用于配槽液和沖洗工件，一般要求水質電阻率在5-10MΩ左右，一般采用反滲透加上粗混就可以達到。
在顯示器（包括CRT、液晶和等離子顯示器）和儲存介質制造領域，電阻率的要求就提高到15MΩ左右，第二級精混床就必須要增加。
到了半導體制備時，18M 的純水則使基本要求，但是越純的水，其電阻率就越不穩定，所以脫出CO2氣體的專用分離膜產品被引入系統。
在電阻制造特別是半導體領域，純水水質達到要求，是整廠開機的基本條件，所以那些用于終端過濾產品的COD析出被控制在PPB等級，所以這些過濾產品的要求要遠高于普通過濾的要求。
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電子用水過濾系統 |
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應用工藝 |
推薦過濾芯 |
濾芯精度 |
去除雜質大小 |
目的 |
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F1.捕捉過濾 |
PP濾袋 |
5μm |
75%以上的5μm雜質 |
捕捉雜質，保護F2濾芯，減少濾芯更換頻次 |
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F2.保安過濾器 |
濾芯 |
5μm |
5um |
保護反滲透膜 |
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F3.反滲透膜 |
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單只脫鹽率高于99% |
系統95%以上脫除鹽份 |
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F4.保護過濾 |
濾芯 絕對精度濾袋 |
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1、3μm |
防止中間水箱中雜質到后續工藝 |
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F5.捕捉過濾 |
濾芯 |
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1、3μm |
捕捉樹脂雜質 |
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F6.CO2氣體 脫出過濾 |
中空纖維 |
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CO2氣體去除率≥83.9% |
脫出CO2氣體，保證純電阻率 |
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F7.終端預過濾 |
折疊濾芯 |
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0.45、0.22μm |
保護終端過濾器 |
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F8.終端預過濾 |
折疊濾芯 |
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0.22/0.1/0.03μm |
終端過濾器 |
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F9.終端預過濾 |
折疊濾芯 |
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0.22/0.1/0.03μm |
保護終端過濾器 |
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注：水處理的工藝已經有多種模式的配置，比如采用中空纖維超濾/微濾取代預過濾系統在大型水處理方面已經很常見，當遇到這些問題時，請咨詢華濾環保技術部專業技術員。 |
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